新型測量工具可提高微芯片生產(chǎn)

MESA+納米技術(shù)研究所的研究人員開發(fā)了一種工具，可以同時測量等離子體源的大小和它發(fā)出的光的顏色。同時測量這兩者，使我們能夠進(jìn)一步改進(jìn)光刻機(jī)，以制造更小、更快、更先進(jìn)的芯片。這篇文章在《光學(xué)快報》上作為編輯精選而受到關(guān)注。 /.)2d8,  
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光刻機(jī)是幾乎所有電子設(shè)備都需要的微芯片制造過程中的核心。為了生產(chǎn)最小的芯片，這些機(jī)器需要精密工程的透鏡、鏡子和光源。XUV光學(xué)集團(tuán)的助理教授Muharrem Bayraktar解釋說：“傳統(tǒng)上，我們只能看到產(chǎn)生的光量，但為了進(jìn)一步改進(jìn)芯片制造過程，我們還想研究這種光的顏色和光源的大小�！� N*':U^/t4J  
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極紫外光是由等離子體源發(fā)射的，它是通過將激光對準(zhǔn)金屬滴而產(chǎn)生的。通過幾組特殊的鏡子，這種光被對準(zhǔn)硅片，以創(chuàng)建可以想象的最小的微芯片。Bayraktar說：“我們希望使等離子體盡可能小。太大了，你就會“浪費(fèi)”很多光，因?yàn)殓R子不能捕捉到所有的光�！� i :EO(`  
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除了大小，發(fā)射的顏色也很重要。Bayraktar說：“等離子體不僅發(fā)射極紫外光，還發(fā)射其他顏色的光。” 有了這個新工具，研究人員可以同時觀察大小和顏色。這使得研究等離子體源的大小與它發(fā)射的光的顏色之間的關(guān)系成為可能。 t.L4%1OF  
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對于這個新工具，研究人員使用了錐形區(qū)域板和透射光柵的組合。這兩者都是在MESA+上生產(chǎn)的。錐形區(qū)域板是專門的光學(xué)元件，可以操縱極紫外光來精確地成像等離子體源。透射光柵將光分散成單獨(dú)的顏色，使單獨(dú)測量它們成為可能。 h,.fM}=H  
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