[原創(chuàng)]SYNOPSYS 光學設計軟件課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設計的微光刻透鏡 [復制鏈接]

課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設計的微光刻透鏡 '(m
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你現(xiàn)在使用的電腦有一個中央處理器，它的晶圓片是用一個非常復雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個以上的鏡片組成，是世界上最精細的鏡頭。如果你想更好的學習光學設計，這將是一個好的學習例子。 +-&N<U  
本課將給出一個學習例子: EAn}8#r'(8  
1. 鏡片數(shù)22片 }YW0?-G.$  
2. 物高31mm i>HipD,TD  
3. 物方數(shù)值孔徑NA 0.2 vo)
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4. 波長為UV %^n9Z/I  
5. 像方晶圓尺寸是12.66mm mr6/d1af_  
6. 總長小于1200mm RIOR%~U  
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這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設計。首先，我們將為左半部分設計一個鏡片組，可以讓光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準直。然后我們將為右半部分設計第二個鏡片組，將準直光束成像到晶圓片上。 y3F13 Z@%  
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首先，我們將使用 DSEARCH 為左半部分設計出11個鏡片的鏡頭，輸入的命令如下： xT70Rp(2po  
下面是對 DSEARCH 的輸入： m^rgzx19?  
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