目前
激光分束技術(shù)主要應(yīng)用于雷達(dá)并行掃描、激光通信、激光并行加工等領(lǐng)域中，激光分束技術(shù)按實(shí)現(xiàn)方式可分為衍射
光學(xué)元件分束法、多
激光器分束法、
光纖束分束法、空間
光調(diào)制器分束法以及多
光束干涉分束法多類。
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A_..+I }A&Xxh!Fwo 此處主要介紹三種：①衍射光學(xué)元件分束法；②空間光調(diào)制器分束法；③多光束干涉分束法。
' Q;?_,` bD^ob.c.A 衍射光學(xué)元件分束法
"8Wc\ YDh = ,E(!Sp 首先是衍射光學(xué)元件分束法，其
原理是對(duì)光場(chǎng)產(chǎn)生衍射干涉現(xiàn)象，變換后的光場(chǎng)經(jīng)傅里葉
透鏡后會(huì)形成理想的多焦點(diǎn)陣列。所用的衍射光學(xué)元件造價(jià)低、衍射效率高，但
結(jié)構(gòu)一旦制成就不能改變。衍射光學(xué)元件是二維分布的衍射子單元以多周期擴(kuò)展形成，通常采用微納刻蝕或光刻加工。達(dá)曼
光柵就是衍射光學(xué)元件的一個(gè)典型，達(dá)曼光柵屬于典型的二元光學(xué)元件。
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ME 空間光調(diào)制器分束法
y0y;1N'KK +^3L~? 空間光調(diào)制器分束法，常用液晶空間光調(diào)制器作為光場(chǎng)調(diào)控器件。LCSLM會(huì)根據(jù)加載全息圖所攜帶的灰度值信息，按照轉(zhuǎn)換模塊施加相應(yīng)的電壓值，進(jìn)而控制液晶面板上的液晶分子排布，根據(jù)電控雙折射效應(yīng)，會(huì)使得相位調(diào)制量產(chǎn)生變化，入射光經(jīng)調(diào)控后會(huì)在傅里葉面產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)分布。液晶空間光調(diào)制器可以對(duì)入射光場(chǎng)的相位、振幅、偏振態(tài)等進(jìn)行調(diào)控，該方法相比于衍射光學(xué)元件分束法實(shí)施價(jià)格昂貴，但調(diào)控靈活。
JbD)}(G; =R8.QBVdN 多光束干涉分束法
~a0 } tFP;CW!E 多光束干涉分束法是將一組互相平行，且光程差為固定值的任意分束間進(jìn)行干涉作用，主要用作圖形加工。
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'mY>s 7 rgY?X$1q_ 由于激光光學(xué)的研究發(fā)展需要，光電圈產(chǎn)生了很多相關(guān)的檢測(cè)儀器，由光研科技自主研發(fā)的光束質(zhì)量分析儀可實(shí)現(xiàn)激光光斑檢測(cè)及測(cè)試應(yīng)用，為客戶提供定制光束質(zhì)量分析一體化設(shè)計(jì)解決方案，并支持多應(yīng)用開(kāi)發(fā)。通過(guò)光束分析裝置一體化設(shè)計(jì)，配套衰減方案設(shè)計(jì)，支持實(shí)時(shí)曝光及增益調(diào)節(jié)。
