[其它]超快激光微加工技術(shù)的特點(diǎn) [復(fù)制鏈接]

超快激光由于具有超快脈沖時(shí)間和超高峰值功率的特性，當(dāng)材料受到超快激光的作用后，材料不會(huì)因?yàn)槭軣岫�熔化，而是直接發(fā)生汽相蒸發(fā)。與傳統(tǒng)激光的加工方法相比，超快激光在加工領(lǐng)域具有熱影響區(qū)域小、可加工材料范圍廣、高空間分辨率、任意三維結(jié)構(gòu)等優(yōu)點(diǎn)。 0FAe5 BE7  
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熱影響區(qū)域小 af-  
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超快激光加工最顯著的特征就是熱影響區(qū)域小。對(duì)于傳統(tǒng)激光而言，由于使用的激光脈沖寬度達(dá)到納秒量級(jí)甚至更長(zhǎng)，聚焦后的光斑為微米量級(jí)，因此在加工過(guò)程中，熱擴(kuò)散現(xiàn)象非常明顯，嚴(yán)重影響加工精度。 w7E7r?)Wl|  
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而超快激光的脈沖寬度非常窄，因此當(dāng)超快激光作用在材料表面時(shí)，它的短脈沖時(shí)間意味著能量密度非常高，能夠在非常短的時(shí)間內(nèi)將能量局部集中在材料表面上。 Vi*HG &DD  
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由于能量密度非常高，材料瞬間被加熱到極高溫度，于是材料就被以汽相形式蒸發(fā)，并且會(huì)帶走部分材料內(nèi)部的熱量，使得周圍區(qū)域的溫度變化非常小，所以周圍熱影響區(qū)域很小。 A.5`+  
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可加工材料范圍廣 Jfs_9g5  
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在超快激光加工過(guò)程中，當(dāng)激光脈沖照射到材料表面時(shí)，由于其超高的峰值功率密度幾乎超過(guò)了各類材料的改性閾值，激光能量被吸收并被轉(zhuǎn)化為電子和離子的動(dòng)能。這些電子和離子在短時(shí)間內(nèi)聚集在材料表面附近形成等離子體，產(chǎn)生極高的溫度和壓力，很容易完成對(duì)各種材料的加工。因此，超快激光可以實(shí)現(xiàn)對(duì)各種種類材料的加工，如金屬、非金屬、半導(dǎo)體、陶瓷等。 Ri<'apl  
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高空間分辨率