光學(xué)非球面新型檢測(cè)原理與技術(shù)

本書(shū)結(jié)合光學(xué)測(cè)量技術(shù)的最新發(fā)展，針對(duì)光學(xué)非球面，尤其是大口徑非球面和自由曲面的檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的探討，主要涉及技術(shù)起源與發(fā)展、原理、具體的實(shí)驗(yàn)裝置，以及相關(guān)的測(cè)量方法和精度。全書(shū)共分5章，第1章介紹了光學(xué)非球面的基本概念、描述及評(píng)價(jià)方法，并簡(jiǎn)要介紹了光學(xué)非球面檢測(cè)的經(jīng)典方法； 第2章介紹了基于激光束偏轉(zhuǎn)與逆向哈特曼的光學(xué)非球面幾何檢測(cè)方法； 第3章詳細(xì)介紹了部分補(bǔ)償法和數(shù)字莫爾移相干涉法； 第4章重點(diǎn)介紹了基于干涉檢測(cè)法的非球面參數(shù)誤差測(cè)量； 第5章探討了非球面干涉檢測(cè)動(dòng)態(tài)范圍擴(kuò)展的相關(guān)技術(shù)。

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目錄

第1章光學(xué)非球面測(cè)量概述

1.1光學(xué)非球面的應(yīng)用

1.2光學(xué)非球面的分類及數(shù)學(xué)描述

1.2.1非球面分類

1.2.2非球面方程

1.3光學(xué)非球面檢測(cè)及評(píng)價(jià)指標(biāo)

1.3.1面形誤差和參數(shù)誤差

1.3.2幾何像差與澤尼克多項(xiàng)式

1.4光學(xué)非球面檢測(cè)方法

1.4.1接觸式測(cè)量法

1.4.2幾何檢測(cè)法

1.4.3干涉檢測(cè)法

參考文獻(xiàn)

第2章激光束偏轉(zhuǎn)法與逆向哈特曼波前檢測(cè)法

2.1激光束偏轉(zhuǎn)法

2.1.1測(cè)量光路方案

2.1.2光斑位置測(cè)量

2.1.3斜率計(jì)算

2.2逆向哈特曼波前檢測(cè)法

2.2.1逆向哈特曼波前檢測(cè)法測(cè)量原理

2.2.2測(cè)量分辨率、測(cè)量靈敏度及斜率測(cè)量范圍

參考文獻(xiàn)

第3章部分補(bǔ)償數(shù)字莫爾移相干涉法

3.1概述

3.2部分補(bǔ)償法

3.2.1基本原理

3.2.2非球面部分補(bǔ)償鏡設(shè)計(jì)

3.2.3自由曲面部分補(bǔ)償鏡設(shè)計(jì)

3.3數(shù)字莫爾移相干涉法

3.3.1虛擬干涉儀的建立

3.3.2莫爾合成與濾波

3.4系統(tǒng)標(biāo)定和校正

3.4.1干涉儀標(biāo)定

3.4.2部分補(bǔ)償鏡標(biāo)定

3.4.3被測(cè)非球面標(biāo)定

參考文獻(xiàn)

第4章非球面參數(shù)誤差干涉測(cè)量

4.1相關(guān)概念

4.1.1非球面的法線像差

4.1.2斜率非球面度

4.2基于最佳補(bǔ)償位置的非球面參數(shù)誤差測(cè)量原理

4.2.1最佳補(bǔ)償位置的定義

4.2.2部分補(bǔ)償干涉系統(tǒng)的最佳補(bǔ)償位置理論模型

4.2.3非球面參數(shù)誤差與最佳補(bǔ)償位置的關(guān)系

4.2.4非球面參數(shù)誤差測(cè)量原理

4.3非球面參數(shù)誤差測(cè)量方法

4.3.1非球面參數(shù)誤差測(cè)量系統(tǒng)

4.3.2非球面參數(shù)誤差測(cè)量流程

4.4非球面參數(shù)誤差測(cè)量系統(tǒng)及實(shí)驗(yàn)結(jié)果

4.4.1實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)搭建

4.4.2實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析

參考文獻(xiàn)

第5章非球面干涉檢測(cè)動(dòng)態(tài)范圍擴(kuò)展研究

5.1高陡度非球面檢測(cè)的意義

5.2兩步載波拼接干涉測(cè)量

5.2.1數(shù)字莫爾移相法的局限

5.2.2兩步載波拼接干涉原理及關(guān)鍵技術(shù)

5.2.3仿真分析

5.2.4實(shí)測(cè)驗(yàn)證

5.2.5TCSM算法應(yīng)用討論

5.3數(shù)字莫爾-牛頓迭代優(yōu)化干涉測(cè)量

5.3.1數(shù)字莫爾-牛頓迭代解相原理

5.3.2仿真分析與比較

5.3.3實(shí)測(cè)驗(yàn)證

參考文獻(xiàn)

索引