中科飛測“一種光學(xué)設(shè)備及其對準方法和檢測方法”專利公布

發(fā)布:cyqdesign 2024-06-13 11:45 閱讀:188

據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告,深圳中科飛測科技股份有限公司“一種光學(xué)設(shè)備及其對準方法和檢測方法”專利公布,申請公布號:CN113514477A,申請日2020-04-10。

專利摘要顯示,一種光學(xué)設(shè)備的調(diào)節(jié)方法,光學(xué)設(shè)備包括對準參考物和待對準探測裝置,待對準探測裝置包括待對準探測器鏡頭,待對準探測器用于在待測物表面形成待對準視場區(qū);該調(diào)節(jié)方法包括:提供參考探測裝置,用于在待測物表面形成參考視場區(qū);使對準參考物處于參考視場區(qū)中;根據(jù)對準參考物在參考視場區(qū)中的位置,對參考探測裝置進行第一調(diào)整處理,使對準參考物處于參考視場區(qū)中的預(yù)定區(qū)域;第一調(diào)整處理之后,將參考探測裝置替換為待對準探測裝置,待對準探測裝置在待測物表面形成的待對準視場區(qū)處于對準參考物的預(yù)定位置。該調(diào)節(jié)方法具有速度快和精度高的優(yōu)點。

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