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離子源充氧與充氬有何分別?
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離子源充氧與充氬有何分別?
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wangxingyu
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離子源充氧與充氬有何分別?
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1樓
發(fā)表于: 2007-04-15
離子源充氧后會(huì)產(chǎn)生氧原子和氧離子,它們具有極其強(qiáng)的活性,作為氧化物膜沉積時(shí)的輔助,不僅能提高膜層的密度,還能改善其吸收!但,其會(huì)降低離子源的壽命。〕錃鍍H能提高膜層的密度,同時(shí)離子源的壽命會(huì)相對長!
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flyinlove79
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發(fā)表于: 2007-04-16
樓上的說的好
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jiayuch
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發(fā)表于: 2007-04-22
如果鍍得是氟化鎂 就用氬氣嗎
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yufe16
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發(fā)表于: 2008-06-17
氬氣流量大約是多少合適呢?高低折射率的材料用一樣的流量嗎?
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liwenjuan
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5樓
發(fā)表于: 2008-06-18
這個(gè)問題也是我一直思考的,好像是的純用氧氣的離子源鍍出的膜層是好點(diǎn),壽命問題真的是要考慮的,廠家可能也是拿著這個(gè)結(jié)果來對我們說,而不會(huì)提到這個(gè)壽命的情況。
4e?bkC
我也發(fā)現(xiàn)這種柵極用幾次就會(huì)有損傷。
y\4/M6
Q"uK6ANp'
不同的材料肯定是不同,這個(gè)除了廠家會(huì)給一些參考,也要自己摸索了
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syw1984
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發(fā)表于: 2008-06-28
好像透過曲線有區(qū)別的
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yufe16
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7樓
發(fā)表于: 2008-06-29
使用離子源的話,對真空室溫度有什么要求嗎 》
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yufe16
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8樓
發(fā)表于: 2008-06-29
使用離子源對真空室溫度有什么要求嗎?
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拉比熊
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發(fā)表于: 2013-01-13
使用離子源對溫度沒有影響
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