|
光整形>衍射光學(xué) kD(#LM<9s 6O_l;A[=1 任務(wù)說(shuō)明 wLzV#8> _nM 7SK 9_O6Sl ~OWpk)Vq 靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù): md `=2l - 平滑的界面 f@2F! - 量化界面 "7eL& - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 Ehxu`>@N %aV~RB# 亮點(diǎn) -A@/cS%p 導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù) TKQ^D 導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面 Xck`"RU<xA 51tZ:-1! aW}d=y[ 一般界面的制造數(shù)據(jù) axOEL:-|Bu Ckc5;:b&m |*^}e54 BS
]:w(}[ 支持文件格式: `Tei - 純文本 3 .K #, - ASCII碼 =
|