測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) (6 fh[eK86 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 t8 #&bU X
1. 系統(tǒng)說(shuō)明 $q{-)=-BXQ 光源 q!9SANTx — 氙氣燈(部分相干白光) pNI=HHx 組件 0\Qq v7> — 分束器和合束器，消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測(cè)樣品 Q5/".x^@ 探測(cè)器 zD-.bHo>. — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) qv=i eU 建模/設(shè)計(jì) x2[A(O= — 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽 QkwBw^'_5 — 幾何場(chǎng)追跡Plus(GFT+)： `(EY/EsY 部分相干白光會(huì)減少干涉條紋的對(duì)比度 >ZuWsA0q 掃描樣品的高度輪廓時(shí)光強(qiáng)會(huì)發(fā)生變化 p^A9iieHp= a}+|2k_ 2. 系統(tǒng)說(shuō)明 ;2-,Xzz8 參考光路
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