測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1)
qk&gA}qF cST\~SUm 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 d>&\V)E V{!lk]p}a 1. 系統(tǒng)說(shuō)明 `aIG;@Z 5:c;RRn
光源 m=H_?W; — 氦氖
激光器(波長(zhǎng)632.8nm;相干長(zhǎng)度>1m)
kfXS_\@iW1 元件
`qE4U4 — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直
透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測(cè)球面透鏡
QO2Ut!Y 探測(cè)器
T8U[xu.> — 干涉條紋
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