測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1)
QU16X Cl[ '6Lk 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 ,eOOV@3C 6~?7CK 1. 系統(tǒng)說(shuō)明 0trVmWQ8 Gm^@lWzG
光源 mbv\Gn#> — 氦氖
激光器(波長(zhǎng)632.8nm;相干長(zhǎng)度>1m)
Rct|"k_"Ys 元件
1g9Qvz3 — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直
透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測(cè)球面透鏡
sR,]eo<p& 探測(cè)器
qu BTRW9 — 干涉條紋
8#'<SB 建模/設(shè)計(jì)
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