摘要 '_xa>T} m9aP]I3g]\ 建模結(jié)果與測量數(shù)據(jù)的比較對于任何
光學(xué)元件的設(shè)計過程都非常重要。因此,有必要將測量到的高度剖面(例如微
結(jié)構(gòu)的高度剖面)導(dǎo)入建模
軟件,以評估真實元件的性能。因此,在本文檔中,我們將展示如何使用位圖文件導(dǎo)入高度數(shù)據(jù)。
rrZ'Dz &|Vzo@D(! 簡介 kgRgHkAH~ v1E(K09h2 IPnx5#eB
步驟 1
.~4DlT - 使用Import功能將位圖圖像文件作為Data Array導(dǎo)入。
'ExQG$t 步驟 2
R"QWap} - 設(shè)置數(shù)據(jù)
陣列的坐標(biāo)、插值和外推法。
0a)LZp| 步驟 3
]@sLX ek - 設(shè)置數(shù)據(jù)陣列的物理屬性。由于默認(rèn)的長度單位是米,因此一定要指定一個合適的系數(shù)來表示微結(jié)構(gòu)的高度。
4eS(dPI0 步驟 4
2>inyn)S - 檢查導(dǎo)入數(shù)據(jù)陣列的高度值,并通過Manipulation菜單進行調(diào)整(例如,應(yīng)用常數(shù)乘法)。
5VlF\- 步驟 5
jiLt *>I - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
p,#**g: 步驟 6
5U(ry6fI= - 將導(dǎo)入的數(shù)據(jù)陣列加載到采樣界面
T-lHlm [2zS@p 步驟 7 .
Eb\SK"8 - 將堆棧的擴展設(shè)置為 DOE 的大小
n UD;y}}n P Z+Rz1x 步驟 8
TfFH!1^+ - 如果需要,增加 TEA 算法的采樣系數(shù)
導(dǎo)入的 DOE 的 3D 視圖
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