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    [求助]銀內(nèi)反膜，保護膜一拉就脫落，怎么回事？ [復制鏈接]

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    離線songyanxia
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 12-07
    膜系結構:氧化鋁+銀+氧化鋁（不帶源）+氧化鋁（帶源）+氧化硅（帶源）�，F(xiàn)在鍍下來，用膠帶拉，保護膜會脫落。請教各位有什么辦法解決。
     
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    離線shenhan0701
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 12-09
    鍍前有開離子源打一下基板嗎？
    離線songyanxia
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 12-09
    回 shenhan0701 的帖子
    shenhan0701:鍍前有開離子源打一下基板嗎？ (2024-12-09 10:51)  OnGtIY  
    Z]-C,8MM  
    有的，預處理�，F(xiàn)在是銀膜層沒問題，他外面的保護膜一拉就會掉。
    離線蔡沛峰
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 12-16
    內(nèi)側結合力的問題，為什么不在內(nèi)側用IBS
    離線ouyuu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 12-18
    感覺還是工藝問題。你的離子源可以用氬嗎？速率和溫度是多少？適當調(diào)整離子源或者溫度看下會不會緩解。