[求助]請(qǐng)問如何解決濺鍍時(shí)針孔問題 [復(fù)制鏈接]

我們公司是做mirror的，可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機(jī)為直立式)，大小在0.3~0.4mm，實(shí)在是很難解決，靶材距離基板150mm，膜層第一層有打底，我想問的是： oz%{D@CF  
1.靶材和基板距離對(duì)針孔產(chǎn)生會(huì)有影響嗎？ z2jS(N?J1  
2.磁場(chǎng)分佈不均勻會(huì)有影響嗎？ SB:z[kfz|  
3.基板材質(zhì)會(huì)有影響嗎？ xg4wtfAbS  
4.不同底層會(huì)有影響嗎？ ./<giTR:p  
5.機(jī)臺(tái)內(nèi)部環(huán)境(粉塵)會(huì)有影響嗎？ {5 3#Xd  
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請(qǐng)各位能幫我解決這些疑惑？現(xiàn)在客人都要求針孔要<0.1mm，真得很難做，謝謝

你首先得判斷針孔的來源：是基板清洗問題？真空室粉塵問題？靶材問題？然后才能對(duì)癥下藥。

目前實(shí)在是很難判斷何處產(chǎn)生，所以才會(huì)請(qǐng)教各位看官，你們會(huì)有針孔的問題嗎？

鍍金屬反射膜，很容易出現(xiàn)針孔的。2樓的說的對(duì)，必須先找出問題的起因。

你們的產(chǎn)品的針孔確實(shí)是夠大的了。首先得判斷針孔的規(guī)則：是很圓型？還是不規(guī)則型？如是圓型，是油水造成的；如是不規(guī)則型，則是塵點(diǎn)吸附造成的。與過程控制有關(guān)。與上述1、2項(xiàng)內(nèi)容無關(guān)。