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    [求助]要怎么做才能用臺(tái)階儀測(cè)出透明薄膜厚度？ [復(fù)制鏈接]

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    離線jlxygun
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-10-17
    我磁控濺射在k-9玻璃上做的SiN薄膜是透明的，而臺(tái)階儀要求兩個(gè)面之間有一定的對(duì)比度（在顯示器上可以分辨出臺(tái)階），希望大家給出出主意，怎么處理才能用臺(tái)階儀測(cè)出SiN厚度呢？謝謝！
     
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    離線huyanah
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-11-07
    坦白的說(shuō)，臺(tái)階很難 #`0iN+qh  
    橢偏可以
    離線memser
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-11-07
    臺(tái)階儀不是接觸式測(cè)量嗎？探針接觸掃描曲線，為什么還要有對(duì)比度呢，難道我們用的臺(tái)階怡不一樣，實(shí)在不明白，我只知道膜厚太小，《1000A測(cè)的不準(zhǔn)。不過(guò)這個(gè)測(cè)的不準(zhǔn)，用橢偏儀或者VYKO三維輪廓儀測(cè)吧。不過(guò)用橢偏儀你得知道K-9玻璃的law文件才能測(cè)，用VYKO你得光刻做個(gè)臺(tái)階后才行，都比較準(zhǔn)吧。再不就用膜厚儀吧，不怎么準(zhǔn)，因?yàn)檎凵渎适窃O(shè)定了的，而且可能還不行，因?yàn)闆](méi)有你這基底啊。
    離線ccc502
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2007-11-10
    這個(gè)問(wèn)題比較難解決
    離線yxbxgjs
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-11-22
    在樣品上作一個(gè)臺(tái)階就可以測(cè)量了