切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 8356閱讀
    • 9回復(fù)

    [求助]橢偏儀和臺(tái)階儀測(cè)薄膜厚度的問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

    		 上一主題 下一主題
    離線(xiàn)小英子
     
    發(fā)帖
    1
    光幣
    10
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-12-10
    請(qǐng)教一下：我用橢偏儀和臺(tái)階儀分別測(cè)了一下薄膜的厚度，結(jié)果至少差了有200nm，請(qǐng)問(wèn)一下哪一個(gè)測(cè)量的更準(zhǔn)確呢！謝謝大家！
     
    分享到
    離線(xiàn)ccc502
    發(fā)帖
    54
    光幣
    7
    光券
    0
    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-12-10
    后者更精確

    樓主留言：

    為什么呢？
    離線(xiàn)oneday1979
    發(fā)帖
    65
    光幣
    40
    光券
    0
    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-01-02
    我也想知道
    離線(xiàn)whuai
    發(fā)帖
    20
    光幣
    20
    光券
    0
    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2009-02-28
    請(qǐng)分享
    離線(xiàn)timberwolf
    發(fā)帖
    10
    光幣
    0
    光券
    0
    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-03-25
    如果操作無(wú)誤，我相信臺(tái)階儀
    離線(xiàn)wuya02109
    發(fā)帖
    11
    光幣
    11
    光券
    0
    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2009-08-07
    如果是測(cè)厚度這一項(xiàng)的話(huà)，還是臺(tái)階儀更準(zhǔn)些。
    離線(xiàn)hp1965
    發(fā)帖
    29
    光幣
    28
    光券
    0
    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2009-10-03
    薄膜的總厚度是多少？哪一個(gè)測(cè)量的更準(zhǔn)確與你關(guān)心的是光學(xué)厚度或幾何厚度有關(guān)！
    離線(xiàn)myjoy88
    發(fā)帖
    7
    光幣
    19
    光券
    0
    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2010-02-02
    當(dāng)然是橢偏儀更準(zhǔn)，因?yàn)闇y(cè)試的結(jié)果可以和理論值比較 0woLB#v9  
    離線(xiàn)uantel
    發(fā)帖
    9
    光幣
    21
    光券
    0
    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2011-04-06
    準(zhǔn)確的講，是后者準(zhǔn)確，臺(tái)階儀是接觸式測(cè)量
    離線(xiàn)yurongjun228
    發(fā)帖
    28
    光幣
    3
    光券
    0
    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2011-04-06
    能提供下載資料嗎