作者：Omer Gokalp Memis，Hooman Mohseni
{.z2n>1J{T '+Dn~8Y+9 得益于來自人眼桿狀細胞方面的靈感，聚焦載流子增強傳感器實現(xiàn)了將大面積高效吸收層與
納米探測機制相結(jié)合。
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紅外光譜通常能提供超出人眼視覺范圍的觀察能力。
紅外探測器已在許多應(yīng)用中發(fā)揮著重要作用，特別是在從不同角度觀察物體的較不明顯特征方面，紅外探測器已經(jīng)成為不可或缺的工具。人們對紅外探測技術(shù)的研究從未止步，研究人員始終在嘗試使用更多的材料來探索不同的紅外探測方法[1]。紅外探測技術(shù)方面取得的穩(wěn)步進展不斷要求更好、更靈敏的探測器來滿足應(yīng)用需求，甚至需要終極的光子傳感器——單光子探測器。
t</rvAH E Wk'KN o 單光子探測器（SPD）是一種超低噪聲器件，增強的靈敏度使其能夠探測到光的最小能量量子——光子。單光子探測器可以對單個光子進行探測和計數(shù)，在許多可獲得的信號強度僅為幾個光子能量級的新興應(yīng)用中，單光子探測器可以一展身手。利用類似于人眼桿狀細胞的光探測機理，美國西北大學(xué)和伊利諾斯州大學(xué)的研究小組已經(jīng)開發(fā)出了紅外單光子聚焦載流子增強傳感器（FOCUS）。該裝置有望在生物光子學(xué)、醫(yī)學(xué)影像、非破壞性材料檢查、國土安全與監(jiān)視、軍事視覺與導(dǎo)航、量子成像以及加密系統(tǒng)等方面取得廣泛應(yīng)用。
XY1NTo. = O:RPH{D 紅外探測的挑戰(zhàn)
,y3o ,gl 2;5EH 0 紅外探測器面臨的最大挑戰(zhàn)在于創(chuàng)建一個具有足夠高信噪比的裝置。為做到這一點，探測器應(yīng)當(dāng)具有以下特點：能夠有效地吸收某一特定
波長的光、噪聲能量應(yīng)當(dāng)?shù)陀谛盘柲芰�、能夠與具有類似低噪聲特性的讀出電子元件相耦合。對于紅外單光子探測器來講，這些要求更具挑戰(zhàn)性，因為單光子的信號能量小于1阿焦（1阿焦=10-18焦），將波長增加到長波紅外（LWIR）以及遠紅外（FIR）波段后，單個光子具有的能量會更低，這會引發(fā)更多的問題。
%]>c 4"H D<#+ R" 此外，如果要在任何波段實現(xiàn)有效吸收，必須要求吸收層（垂直于光傳輸方向）的寬度與所吸收的特定波長相當(dāng)。因此，在長波紅外和遠紅外波段，器件的尺寸在幾微米到幾十微米的尺度內(nèi)。然而，要想將電子噪聲降到低于光子能量，器件的尺寸要降到納米尺度。由于單光子能量極低并且波長較長，這使得低噪聲、高效率的長波紅外單光子探測器的制作非常困難。
-Duy: C6W CY0|.x 源自人眼桿狀細胞的靈感
[L|H1ll P`5@$1CJ 隨著人們對單光子紅外探測器的不懈研究，目前已經(jīng)出現(xiàn)了專門的p-i-n探測器、雪崩光電探測器（APD）、單電子晶體管探測器以及超導(dǎo)（邊緣轉(zhuǎn)換）探測器。在這些探測器中，雪崩光電探測器是無需低溫冷卻的固態(tài)單光子探測器的首選。但是，兼容紅外的雪崩光電探測器面臨許多問題，包括由雪崩增益統(tǒng)計性質(zhì)導(dǎo)致的噪聲增長、隨機觸發(fā)的后脈沖、以及在所需的強電場下隧穿造成的暗電流的增長[2]。因此，雪崩光電探測器的應(yīng)用僅限于一些同步系統(tǒng)，并且這些系統(tǒng)具有特別的猝熄電路，允許在極短的時間內(nèi)施加高擊穿電壓。
.jZmQtc <dD}4c+/t 為了克服固態(tài)單光子探測器所面臨的問題，研究小組從本質(zhì)上對現(xiàn)有的單光子探測器進行了研究。由于具備一種稱為桿狀細胞的特定光敏細胞，使人眼具有探測單光子的能力[3]。桿狀細胞對弱光下的灰度視覺十分敏感，這主要是因為它們富含一種叫做視網(wǎng)膜紫質(zhì)的特殊分子[4]。桿狀細胞的結(jié)構(gòu)以及視網(wǎng)膜紫質(zhì)在細胞中的排列能夠提供龐大的吸收體積，進而能夠有效地俘獲光子。此外，視網(wǎng)膜紫質(zhì)分子與其他一系列催化劑和信使分子一起，在信號被神經(jīng)系統(tǒng)的噪聲降質(zhì)之前的放大過程中，發(fā)揮著重要作用。研究人員試圖復(fù)制這種人類視覺系統(tǒng)的工作原理，來實現(xiàn)有效的單光子探測。
vX)JJ|g 4t|g G`QW7 FOCUS系統(tǒng)開發(fā)
#DwTm~V0" q*Yh_IT.I 盡管納米尺度特征可以提供諸如超低電容以及量子效應(yīng)等有吸引力的特性，但它們的填充因子較低，從而妨礙了其對光進行有效的吸收。FOCUS傳感器除了具有納米尺度的傳感特征外，還利用較大的吸收體積來模仿桿狀細胞的結(jié)構(gòu)進行工作（見圖1）。
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,JN2q]QPP NM/?jF@j* 圖1. 該圖為聚焦載流子增強探測器（FOCUS）裝置的掃描電子顯微成像以及橫截面圖，顯示了極為靈敏的納米注入?yún)^(qū)以及大面積的厚吸收體積FOCUS的工作原理是在電子領(lǐng)域復(fù)制人眼桿狀細胞的工作機理：當(dāng)施加適當(dāng)偏壓時，F(xiàn)OCUS納米注入?yún)^(qū)內(nèi)的電子在內(nèi)部電場的作用下，將向大面積的吸收區(qū)運動。然而，在納米注入?yún)^(qū)的末端會形成勢壘阻礙電子的這種運動，并且會擋住大多數(shù)電子。當(dāng)一個光子入射到大面積的厚吸收區(qū)時，它將以極高概率產(chǎn)生一個電子-空穴對，空穴在內(nèi)建電場的作用下會立即被吸引到納米注入?yún)^(qū)。當(dāng)光激發(fā)的空穴到達納米注入?yún)^(qū)時，將導(dǎo)致勢壘降低。由于納米勢壘的電容極低，所以它對總電荷的任何變化都極為敏感，即便只有一個額外的空穴，電壓也會顯著降低。勢壘的降低將允許更多的電子到達吸收區(qū)，并且隨著電勢的改變，注入電子的數(shù)量會呈指數(shù)增長。因此，如果具有適當(dāng)?shù)膬?nèi)部增益機理和能帶結(jié)構(gòu)，F(xiàn)OCUS在俘獲到一個單一光子的情況下，就能使注入電流發(fā)生顯著改變。
L"1UUOKy -wC;pA#o 器件制作與實驗結(jié)果
WHqp7NPl ]P(: z 研究人員采用三維非線性有限元方法（FEM）進行數(shù)值模擬，來設(shè)計層結(jié)構(gòu)和FOCUS器件架構(gòu)，然后，采用金屬有機化學(xué)氣相沉積的方法生長外延層，利用電子束刻蝕的方法構(gòu)造晶片的納米尺度特征。電子束蒸發(fā)器用于將金屬沉積在這些納米特征上，金屬膜同時還在接下來的刻蝕步驟中起到硬質(zhì)掩膜的作用：首先對特征進行反應(yīng)離子刻蝕，然后進行濕法刻蝕，最終形成納米注入?yún)^(qū)。納米注入?yún)^(qū)周圍的空白區(qū)充滿鈍化以及平化藥劑（聚酰亞胺或氧化物），以改善表面質(zhì)量和結(jié)構(gòu)完整性。最后的鍍金屬步驟用于制作電子集成所需的金屬電極。
8}\VlH] 0MF[e3)a 研究人員制作了直徑從100nm到5祄的圓形FOCUS器件并進行了測試。這些器件的目標應(yīng)用主要在近紅外波段。在一套定制的準直系統(tǒng)中，研究人員對暗電流、光電流、光增益、空間靈敏度、帶寬、瞬態(tài)響應(yīng)以及額外噪聲等參數(shù)進行了測量。被測FOCUS器件均在低于2V的偏壓下工作。
['sj'3cW- 26yv w 在暗電流以及光電流測試中，研究人員使用準直的連續(xù)波
激光器作為
光源。測量結(jié)果表明：FOCUS器件的
光學(xué)響應(yīng)得到了顯著提高，同時暗電流的值與目前最先進的雪崩光電探測器相近（見圖2）。在低偏壓條件下，小型FOCUS器件可以獲得超過4000的穩(wěn)定增益，這比現(xiàn)有的其他單光子探測器提高了幾個數(shù)量級。此外，F(xiàn)OCUS探測器所必需的偏置電壓要比雪崩光電探測器所需的偏置電壓（可以高達50V）低很多。對于空間靈敏度的測量，研究人員使用了一套自動裝置，測量結(jié)果顯示：FOCUS探測器能夠收集到距納米注入?yún)^(qū)6～7祄處的載流子，這一結(jié)果也進一步證實了研究人員之前的理論模擬預(yù)言。
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p8oOm>B96n ?zQ\u{]= 圖2. 電流-電壓特性曲線顯示了直徑為5祄的圓形FOCUS探測器（在室溫下工作，未冷卻）在不同光照條件下的工作性能研究人員在不同的加工階段對FOCUS探測器的帶寬進行了測試，發(fā)現(xiàn)帶寬對表面質(zhì)量具有明顯的依賴關(guān)系，這與具有極高表體比的納米器件的預(yù)期相符。非鈍化器件的帶寬可達到400kHz，而某些特殊鈍化器件的帶寬可超過300MHz。然而，帶寬的增加通常伴隨著增益的下降，這意味著增益帶寬積為一常數(shù)，該值超過3GHz。雪崩光電探測器由于載流子在深勢阱中壽命較長，以及相關(guān)的后脈沖會導(dǎo)致帶寬受限；與之相比，F(xiàn)OCUS探測器并沒有顯示出這種不期望的副作用。
:f ybH)* 由于不同形式的鈍化之間存在差別，因此可以在增益和帶寬之間進行權(quán)衡。與帶寬結(jié)果相關(guān)聯(lián)，研究人員還使用超快飛秒脈沖
激光器以及光學(xué)衰減器進行了瞬態(tài)響應(yīng)測量。取平均之后，便能區(qū)分出對應(yīng)于五光子光電效應(yīng)的電脈沖。
0V"r$7(} IBcCbNs! 研究人員使用定制的非線性FEM模擬程序在近紅外波段對FOCUS器件進行設(shè)計以及數(shù)值模擬。我們相信：隨著人們對納米尺度效應(yīng)的進一步理解、改進相應(yīng)的制作步驟，以及將加工過程拓展到長波紅外和遠紅外波段，F(xiàn)OCUS器件將得到進一步改善。
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