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光學(xué)薄膜基本工藝講義-周東平研究員（上海技物所） <f%JZ4p*  
第一講真空系統(tǒng)的基本知識(shí) !(~eeE}|lM  
第二講制備技術(shù) V0q./NuO  
第三講鍍膜工藝 zPEx;lO$  
第四講薄膜材料 Ch%W C,  
第五講膜厚監(jiān)控 /.9j$iK#  
第六講電子槍和離子源工作原理和作用 B!0o6)u'  
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