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光學(xué)薄膜基本工藝講義-周東平研究員(上海技物所) <f%JZ4p* 第一講真空系統(tǒng)的基本知識(shí) !(~eeE}|lM 第二講制備技術(shù) V0q./NuO 第三講 鍍膜工藝 zPEx;lO$ 第四講薄膜材料 Ch%W
C, 第五講膜厚監(jiān)控 /.9j$iK# 第六講 電子槍和 離子源工作原理和作用 B!0o6)u' .0k
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