隨著納米技術(shù)的進(jìn)步,產(chǎn)品不斷向微型化方向發(fā)展,特征尺寸為微米級(jí)的微機(jī)電
系統(tǒng)越來越受到人們的高度重視。
%00KOM: G+Ft2/+\ 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Machanical Systems)包括微型機(jī)構(gòu)、微型
傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理
電路等幾部分,MEMS已相繼應(yīng)用于精密機(jī)械、光電通訊、影像傳輸、生化醫(yī)療和信息儲(chǔ)存等領(lǐng)域,如微
齒輪、插頭式
光纖連接器、醫(yī)學(xué)用微量泵、
導(dǎo)光板、微
透鏡、內(nèi)窺鏡零件、微流控
芯片、細(xì)胞培養(yǎng)用微型容器,以及旋轉(zhuǎn)傳感器中的衍射光柵等都需要微型
模具。國際MEMS市場近年來獲得迅速發(fā)展,中國的MEMS市場增速也將加快,據(jù)有關(guān)
資料預(yù)測,至2011年我國MEMS的增速有望達(dá)到29.2%。
A[QUFk( df_hmkyj 所謂微型模具,如果從尺寸和制造精度上加以限定,則微型模具具有以下特征:成形制件尺寸微小,一般來說體積為1mm3左右;成形的微觀尺寸從幾微米到幾百微米,模具表面粗糙度Ra≤0.1μm,模具的制造精度≤1.0μm。
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