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[討論]阻抗問(wèn)題討論 [復(fù)制鏈接]

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-06-29

在DC sputtering時(shí)，有一個(gè)參數(shù)是Impedance范圍0-10000，請(qǐng)問(wèn)如果過(guò)程中如真空度過(guò)高或功率很低引起阻抗很大，意味著什么，會(huì)不會(huì)對(duì)電源有損害？

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