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    求微光學(xué)制造（使用半導(dǎo)體加工工藝）方面的書籍 [復(fù)制鏈接]

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    離線liongo
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-07-14
    關(guān)鍵詞： MEMS二元光學(xué)
    本人對光學(xué)基本一竅不通，但是因為需要把衍射光柵集成到MEMS器件上面，需要了解一下微光學(xué)/二元光學(xué)的制作工藝。 mc5$-}1V,  
    因為器件都集成在硅上，所以特求使用半導(dǎo)體/MEMS工藝制作工藝在微光學(xué)方面的書。 C}mWX7<Z.  
    04<T2)QgK  
    其中灰度光刻是制作微光學(xué)結(jié)構(gòu)的一個很好的方法，當(dāng)然還有很多微納加工的工藝方法。 Fqp~1>wi  
    望涉獵此行的同仁不吝賜教，幫忙推薦或者開導(dǎo)。 7wc{.~+  
    Hz<)a(r!J  
    謝謝！
     
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    離線liongo
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-07-14
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    希望側(cè)重于工藝方面的，理論基本不懂的； &9'JHF!l  
    如果有從事MOEMS工作望交流交流
    離線warwalwjq
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2011-07-27
    感興趣
    離線song516
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-01-08
    學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)
    離線zhangce_xp
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-01-09
    我也是迫切想知道MEMS的工藝啊，尤其是一些封裝啊