求微光學(xué)制造（使用半導(dǎo)體加工工藝）方面的書籍 [復(fù)制鏈接]

本人對光學(xué)基本一竅不通，但是因為需要把衍射光柵集成到MEMS器件上面，需要了解一下微光學(xué)/二元光學(xué)的制作工藝。 n;e."^5  
因為器件都集成在硅上，所以特求使用半導(dǎo)體/MEMS工藝制作工藝在微光學(xué)方面的書。 2b; rr  
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其中灰度光刻是制作微光學(xué)結(jié)構(gòu)的一個很好的方法，當(dāng)然還有很多微納加工的工藝方法。 += X).X0K  
望涉獵此行的同仁不吝賜教，幫忙推薦或者開導(dǎo)。 ^RY