蒸發(fā)AZO鍍膜過程中,要輸入AZO的density and Z ratio但是查遍表格也沒有發(fā)現(xiàn),用ZnO的數(shù)據(jù)作了一遍發(fā)現(xiàn)不太準(zhǔn), r6d0x
誰有AZO的數(shù)據(jù)分享以下?以及AZO evaporation過程中的注意事項(xiàng) [x;(cISK1
BTW,AZO好像是直接升華的,我用ZnO的參數(shù)晶振片上顯示150nm,但是a-step測試只有幾納米,不知道為什么?求解! zwM"`z