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平面磁控濺射靶磁場的計算
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平面磁控濺射靶磁場的計算
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chenchao
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樓主
發(fā)表于: 2011-12-18
關(guān)鍵詞:
磁控濺射
磁場
有限元
平面
磁控濺射
靶
磁場
的計算摘要:精確分析磁控靶的磁場對
優(yōu)化
磁控靶的設計非常重要。本文采用
有限元
法分析了圓形平面磁控靶的二維磁場分布 ,理論計算的結(jié)果與特斯拉計的實驗測量相符 ,通過對比兩種不同磁極尺寸的磁控靶的磁場 ,發(fā)現(xiàn)減少磁極的尺寸可以擴展靶表面徑向磁場區(qū)域 ,磁芯上方加圓錐形極靴可以增強磁芯上方徑向磁場。
:=0XT`iY
U;QN+fF]u
關(guān)鍵詞:磁控濺射;磁場;有限元法
附件:
平面磁控濺射靶磁場的計算.rar
(393 K) 下載次數(shù):47 ,
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maf999
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又要錢
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maf999
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發(fā)表于: 2012-06-11
不能免費嗎
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ggtech
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發(fā)表于: 2013-06-17
謝謝。
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scenery
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發(fā)表于: 2013-08-03
好貼!。。。。。。!
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大敏哥
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發(fā)表于: 2017-12-26
學習一下,很少見得資料
YyX/:1 sg>
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hunter999
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發(fā)表于: 2018-06-21
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7樓
發(fā)表于: 2020-05-27
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18073266662
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發(fā)表于: 2020-05-27
看看學學一下
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曹英朝
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9樓
發(fā)表于: 2020-06-06
tks!look look
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