平面
磁控濺射靶
磁場(chǎng)的計(jì)算摘要：精確分析磁控靶的磁場(chǎng)對(duì)
優(yōu)化磁控靶的設(shè)計(jì)非常重要。本文采用
有限元法分析了圓形平面磁控靶的二維磁場(chǎng)分布 ,理論計(jì)算的結(jié)果與特斯拉計(jì)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量相符 ,通過(guò)對(duì)比兩種不同磁極尺寸的磁控靶的磁場(chǎng) ,發(fā)現(xiàn)減少磁極的尺寸可以擴(kuò)展靶表面徑向磁場(chǎng)區(qū)域 ,磁芯上方加圓錐形極靴可以增強(qiáng)磁芯上方徑向磁場(chǎng)。
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