鈦合金表面磁控濺射制備HA/ YSZ梯度涂層摘要：采用射頻磁控濺射法在 Ti6Al4V 基體上制備了 HA/ YSZ生物梯度涂層。借助于 XRD ,SEM ,EDS等對濺射涂層的相組成、 微觀形貌和界面狀態(tài)進(jìn)行了研究。實驗結(jié)果表明:磁控濺射的生物梯度涂層呈非晶態(tài) ,經(jīng)過退火處理 ,可以使其轉(zhuǎn)化為晶態(tài) ,恢復(fù)缺失的 OH- 1;梯度涂層的微觀表面凹凸不平 ,并呈現(xiàn)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)和較多的孔隙 ,后處理仍保持梯度涂層利于新骨生長的表面形貌 ,并使其轉(zhuǎn)變?yōu)獒槧罱Y(jié)晶。HA/ YSZ梯度涂層與基體結(jié)合緊密 ,在涂層與基體界面結(jié)合處約 5. 0μm范圍內(nèi)存在 Ti ,Ca ,P ,Zr 的相互擴(kuò)散層 ,梯度涂層與基體的界面結(jié)合強(qiáng)度達(dá) 60. 5MPa。 8?Z4-6!{V,
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關(guān)鍵詞：HA 梯度涂層；射頻磁控濺射；微結(jié)構(gòu)；結(jié)合強(qiáng)度
