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    [求助]關于Ta2O5用于三層增透膜時 [復制鏈接]

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    離線dede
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2012-02-15
    關鍵詞: 增透膜
    Ta2O5用于三層增透膜時,零件發(fā)黃,吸收大,其鍍時參數是250度,速度為3埃/秒,充氧1E-2,2E-2,均試過,請教過很多高手,好象均無有良策?
     
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    離線laohu0504
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2012-10-16
    解決問題了沒有呢?  可以聯絡laohu0504@163.com .*f4e3  
    離線dede
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2012-10-23
    現在不用TA2O5了,用H4代替 vm^# aoDB  
    OjEA;;qq  
    在線jiangguang
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-06-15
    什么高手啊都 加離子源 ',j-n$Z^=  
    離線crl0129
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-11-21
    學習一下!
    離線dididida
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2019-11-05
    大蝦,還在嗎?我最近也是做了一個用SIO2+TA2O5 9層結構并且最外層加MGF2的增透膜系,加熱工藝,溫度270,速率2.5-3.5,也是遇到了380nm附近一段吸收很大的問題,想請教一下你之前的這個問題是有解決嗎?可以給我點意見嗎