[求助]光馳機(jī) 只有晶控 請(qǐng)各位大俠幫忙解決個(gè)問(wèn)題！ [復(fù)制鏈接]

我公司新買臺(tái) 光馳 GENER1300真空鍍膜機(jī)，只有晶控沒(méi)有配光控。問(wèn)下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。 dO!B=/  
glomwny  
現(xiàn)在有個(gè)問(wèn)題請(qǐng)教一下，電子槍擋板打開(kāi)后，成膜速度過(guò)快，速度沖到設(shè)定值的140%，然后慢慢下降，經(jīng)過(guò)30秒左右后能穩(wěn)定在設(shè)定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設(shè)定有問(wèn)題，具體數(shù)為：  請(qǐng)各位幫忙分析下 -5y=K40  
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名稱    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power WesEZ\V  
MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0 3vj1FbY  
AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 ^WUG\@B  
H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0 9'0v]ar  
M2        8.6        PID               1                    0.01                  0.1                  50%                  3.0

這種機(jī)臺(tái)不要光控就可以，我們20臺(tái)這種鍍膜機(jī)倒是都配了光控，就沒(méi)怎么用。晶振片的壽命用到5985以上就OK，如果要求比較嚴(yán)格，用到5990就不要用了。我們現(xiàn)在主要鍍?cè)鐾改ぃ?層沒(méi)有問(wèn)題，之前我用這種機(jī)臺(tái)鍍過(guò)40層的IR，分兩次鍍，也可以。速率的話它就有這毛病，不過(guò)好像沒(méi)有你說(shuō)的沖到140%的現(xiàn)象。你剛買的機(jī)臺(tái)，它有時(shí)候還會(huì)有速率突然沖到幾百，也有突然變?yōu)樨?fù)數(shù)的情況，晶控的保養(yǎng)很重要，要避免接觸不良。

你把熔料是功率降低點(diǎn)

造成這種情況的原因可能是 熔料最后的電流設(shè)定過(guò)高造成的。  熔料電流我都是按照老機(jī)器的程序設(shè)定的，可能存在新機(jī)器電流比較猛的原因。 sEx`9_oZ  
我們這臺(tái)機(jī)器也是鍍?cè)鐾改�，最多�?層。我們晶振片新的頻率是5991左右，頻率用到5980換。 ~#|Pe1Y  
工件盤(pán)溫度設(shè)定300度，側(cè)壁150度。鍍到40-50鍋的時(shí)候，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)光學(xué)曲線整體左移的情況。 HG&rE3@  
內(nèi)壁清潔后，故障消除。  總體感覺(jué)新機(jī)器的真空室臟的快，膜料與真空壁鋁箔的吸附不牢固。

ken_jinyan1:造成這種情況的原因可能是 熔料最后的電流設(shè)定過(guò)高造成的。  熔料電流我都是按照老機(jī)器的程序設(shè)定的，可能存在新機(jī)器電流比較猛的原因。 ;ji["b  
我們這臺(tái)機(jī)器也是鍍?cè)鐾改�，最多�?層。我們晶振片新的頻率是5991左右，頻率用到5980換。 agj_l}=gO  
工件盤(pán)溫度設(shè)定300度，側(cè)壁150度。鍍到40 .. (2013-02-13 11:48)  pvY