[求助]光馳機 只有晶控 請各位大俠幫忙解決個問題！ [復(fù)制鏈接]

我公司新買臺 光馳 GENER1300真空鍍膜機，只有晶控沒有配光控。問下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。 DPHQ,dkp  
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現(xiàn)在有個問題請教一下，電子槍擋板打開后，成膜速度過快，速度沖到設(shè)定值的140%，然后慢慢下降，經(jīng)過30秒左右后能穩(wěn)定在設(shè)定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設(shè)定有問題，具體數(shù)為：  請各位幫忙分析下 -pb&-@Hul  
@ GDX7TPV  
名稱    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power v90T{1+M|4  
MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0 O}ejWP8>  
AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 Sr.;GS5i  
H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0 e;95a  
M2        8.6        PID               1                    0.01                  0.1                  50%                  3.0

這種機臺不要光控就可以，我們20臺這種鍍膜機倒是都配了光控，就沒怎么用。晶振片的壽命用到5985以上就OK，如果要求比較嚴格，用到5990就不要用了。我們現(xiàn)在主要鍍增透膜，8層沒有問題，之前我用這種機臺鍍過40層的IR，分兩次鍍，也可以。速率的話它就有這毛病，不過好像沒有你說的沖到140%的現(xiàn)象。你剛買的機臺，它有時候還會有速率突然沖到幾百，也有突然變?yōu)樨摂?shù)的情況，晶控的保養(yǎng)很重要，要避免接觸不良。

你把熔料是功率降低點

造成這種情況的原因可能是 熔料最后的電流設(shè)定過高造成的。  熔料電流我都是按照老機器的程序設(shè)定的，可能存在新機器電流比較猛的原因。 3ha|0[r9  
我們這臺機器也是鍍增透膜，最多鍍9層。我們晶振片新的頻率是5991左右，頻率用到5980換。 SpTdj^