切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 12600閱讀
    • 21回復

    [求助]光馳機 只有晶控 請各位大俠幫忙解決個問題! [復制鏈接]

    上一主題 下一主題
    離線ken_jinyan1
     
    發(fā)帖
    232
    光幣
    48
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2012-11-12
    關(guān)鍵詞: 光馳機晶控電子槍
    我公司新買臺 光馳 GENER1300真空鍍膜機,只有晶控沒有配光控。問下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。 se`Eez}  
    _+'!l'`  
    現(xiàn)在有個問題請教一下,電子擋板打開后,成膜速度過快,速度沖到設定值的140%,然后慢慢下降,經(jīng)過30秒左右后能穩(wěn)定在設定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設定有問題,具體數(shù)為:  請各位幫忙分析下 m|F1_Ggz  
    +{RTz)e?*  
    名稱    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power ".N+nM~  
    MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0  ,w3-*z  
    AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 &9fQW?Czs  
    H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0 /s} "0/Y\  
    M2        8.6        PID               1                    0.01                  0.1                  50%                  3.0
     
    分享到
    離線靜而不止
    發(fā)帖
    21
    光幣
    3
    光券
    0
    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2012-12-12
    這種機臺不要光控就可以,我們20臺這種鍍膜機倒是都配了光控,就沒怎么用。晶振片的壽命用到5985以上就OK,如果要求比較嚴格,用到5990就不要用了。我們現(xiàn)在主要鍍增透膜,8層沒有問題,之前我用這種機臺鍍過40層的IR,分兩次鍍,也可以。速率的話它就有這毛病,不過好像沒有你說的沖到140%的現(xiàn)象。你剛買的機臺,它有時候還會有速率突然沖到幾百,也有突然變?yōu)樨摂?shù)的情況,晶控的保養(yǎng)很重要,要避免接觸不良。
    離線jiangguang
    發(fā)帖
    546
    光幣
    176
    光券
    0
    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2013-02-06
    你把熔料是功率降低點
    離線ken_jinyan1
    發(fā)帖
    232
    光幣
    48
    光券
    0
    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-02-13
    造成這種情況的原因可能是 熔料最后的電流設定過高造成的。  熔料電流我都是按照老機器的程序設定的,可能存在新機器電流比較猛的原因。 $t.oGd@N  
    我們這臺機器也是鍍增透膜,最多鍍9層。我們晶振片新的頻率是5991左右,頻率用到5980換。 G?'^"ae"Z  
    工件盤溫度設定300度,側(cè)壁150度。鍍到40-50鍋的時候,有時會出現(xiàn)光學曲線整體左移的情況。 p