[求助]光馳機 只有晶控 請各位大俠幫忙解決個問題！ [復制鏈接]

我公司新買臺 光馳 GENER1300真空鍍膜機，只有晶控沒有配光控。問下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。 &.`/ln  
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現(xiàn)在有個問題請教一下，電子槍擋板打開后，成膜速度過快，速度沖到設(shè)定值的140%，然后慢慢下降，經(jīng)過30秒左右后能穩(wěn)定在設(shè)定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設(shè)定有問題，具體數(shù)為：  請各位幫忙分析下 ;VIW/  
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名稱    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power ZW>?y$C+  
MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0 v.pj PBU1  
AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 ?~fuMy B  
H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0 97~*Z|#<+  
M2        8.6        PID               1                    0.01                  0.1                  50%                  3.0

這種機臺不要光控就可以，我們20臺這種鍍膜機倒是都配了光控，就沒怎么用。晶振片的壽命用到5985以上就OK，如果要求比較嚴格，用到5990就不要用了。我們現(xiàn)在主要鍍增透膜，8層沒有問題，之前我用這種機臺鍍過40層的IR，分兩次鍍，也可以。速率的話它就有這毛病，不過好像沒有你說的沖到140%的現(xiàn)象。你剛買的機臺，它有時候還會有速率突然沖到幾百，也有突然變?yōu)樨摂?shù)的情況，晶控的保養(yǎng)很重要，要避免接觸不良。

你把熔料是功率降低點

造成這種情況的原因可能是 熔料最后的電流設(shè)定過高造成的。  熔料電流我都是按照老機器的程序設(shè)定的，可能存在新機器電流比較猛的原因。 !ENb \'>J>  
我們這臺機器也是鍍增透膜，最多鍍9層。我們晶振片新的頻率是5991左右，頻率用到5980換。 |Skxa\MI  
工件盤溫度設(shè)定300度，側(cè)壁150度。鍍到40-50鍋的時候，有時會出現(xiàn)光學曲線整體左移的情況。 &bO0
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內(nèi)壁清潔后，故障消除。  總體感覺新機器的真空室臟的快，膜料與真空壁鋁箔的吸附不牢固。

ken_jinyan1:造成這種情況的原因可能是 熔料最后的電流設(shè)定過高造成的。  熔料電流我都是按照老機器的程序設(shè)定的，可能存在新機器電流比較猛的原因。 i
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我們這臺機器也是鍍增透膜，最多鍍9層。我們晶振片新的頻率是5991左右，頻率用到5980換。 8xQ5[Ov  
工件盤溫度設(shè)定300度，側(cè)壁150度。鍍到40 .. (2013-02-13 11:48)  4dXuy>Km  

1}C|Javkn  
左移？我這的機器，會慢慢的右移。

無論什么移都算正常吧，如果不移倒不正常了，機器沒那么穩(wěn)定，再說，材料熔化后蒸發(fā)時的高度也有可能不一樣呀 ,%#FK|  

看看學學

應(yīng)該不是什么問題

這兩天試了不同廠家的試料。混合試料的電子槍電流差別比較大。以M2為例相差能達到 LT7C>b  
50mA以上。 電流不同可能還會影響充O2量。

你膜料的蒸鍍速度有點高