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    [分享]光刻機(jī)照明系統(tǒng)設(shè)計(jì) [復(fù)制鏈接]

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    離線hhxxgg00
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2013-04-02
    隨著微電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，我國迫切需要研制極大規(guī)模集成電路的加工設(shè)備-光刻機(jī)。曝光波長為 193nm 的投影式光刻機(jī)因其技術(shù)成熟、曝光線寬可延伸至 32nm 節(jié)點(diǎn)的優(yōu)勢已成為目前光刻領(lǐng)域的主流設(shè)備。照明系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成部分，其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實(shí)現(xiàn)離軸照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)為研究方向，對照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計(jì)與仿真研究。 F2 >o"j2  
    (J$JIPF  
    CAJ文件 q35%t61Lc  
    長光機(jī)博士論文 ax'Dp{Q  
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    這個(gè)時(shí)代，每個(gè)人都在大聲說話，每個(gè)人都在爭分奪秒。我們用最快的速度站上高度。但是也在瞬間失去態(tài)度。當(dāng)喇叭聲遮蓋了引擎聲，我們早已忘記，謙謙之道才是君子之道。你問我這個(gè)時(shí)代需要什么，在別人喧囂的時(shí)候安靜，在眾人安靜的時(shí)候發(fā)聲。不喧嘩，自有聲。
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    離線xingyu4153
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    長光機(jī)博士論文
    離線drymatini
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    好資料！
    離線moth
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    看看看················
    離線姜守望
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    頂一下，……
    離線yu-xuegang
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    頂一下，……
    離線tmdapple123
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    光幾所！哎
    離線maiwudi
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    看看啦
    離線ciomp1312
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2013-04-04
    長光機(jī)博士論文
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-04-04
    看一看