切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 28464閱讀
    • 176回復

    [分享]光刻機照明系統(tǒng)設計 [復制鏈接]

    上一主題 下一主題
    離線hhxxgg00
     
    發(fā)帖
    1470
    光幣
    13129
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2013-04-02
    隨著微電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,我國迫切需要研制極大規(guī)模集成電路的加工設備-光刻機。曝光波長為 193nm 的投影式光刻機因其技術(shù)成熟、曝光線寬可延伸至 32nm 節(jié)點的優(yōu)勢已成為目前光刻領(lǐng)域的主流設備。照明系統(tǒng)是光刻機的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實現(xiàn)離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學設計為研究方向,對照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進行了光學設計仿真研究。 "+O/OKfR0  
    VPO~veQ  
    CAJ文件 45-x$o  
    長光機博士論文 \kI{#   
    附件設置隱藏,需要回復后才能看到
     
    這個時代,每個人都在大聲說話,每個人都在爭分奪秒。我們用最快的速度站上高度。但是也在瞬間失去態(tài)度。當喇叭聲遮蓋了引擎聲,我們早已忘記,謙謙之道才是君子之道。你問我這個時代需要什么,在別人喧囂的時候安靜,在眾人安靜的時候發(fā)聲。不喧嘩,自有聲。
    分享到
    離線xingyu4153
    發(fā)帖
    459
    光幣
    104
    光券
    0
    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    長光機博士論文
    離線drymatini
    發(fā)帖
    1180
    光幣
    1783
    光券
    0
    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    好資料!
    離線moth
    發(fā)帖
    504
    光幣
    1461
    光券
    0
    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    看看看················
    離線姜守望
    發(fā)帖
    70
    光幣
    18
    光券
    0
    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    頂一下,……
    離線yu-xuegang
    發(fā)帖
    1570
    光幣
    19409
    光券
    3
    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    頂一下,……
    離線tmdapple123
    發(fā)帖
    628
    光幣
    0
    光券
    0
    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    光幾所!哎
    離線maiwudi
    發(fā)帖
    1575
    光幣
    6622
    光券
    0
    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2013-04-02
    看看啦
    離線ciomp1312
    發(fā)帖
    138
    光幣
    1
    光券
    0
    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2013-04-04
    長光機博士論文
    離線光學行當
    發(fā)帖
    116
    光幣
    78
    光券
    0
    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-04-04
    看一看