第一章：為何使用干涉儀做檢測(cè) }+/F?_I=
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第二章：干涉儀工作原理 #;(Q \
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2-2如何判斷干涉條紋 xoB "hNIX
2-2-1干涉條紋種類 "KHe6otmi_
那么我們?nèi)绾闻袛喔缮鏃l紋? 因?yàn)槲覀儾皇请S時(shí)隨地都可以方便的使用干涉儀并藉由計(jì)算機(jī)來分析, 所以我們必須用肉眼來判斷, 這也是最快最方便的方式. -s_=4U,
干涉條紋的種類有2種:第一個(gè)是等厚度干涉條紋, 在等厚度干涉條紋中明暗的條紋會(huì)呈現(xiàn)等間隔的情形, 而且每個(gè)相鄰的條紋代表相同的厚度間隔. hpBn_
假設(shè)橫線為標(biāo)準(zhǔn)面, 斜線為一個(gè)斜率固定的待測(cè)面, 當(dāng)光線打過來的時(shí)候會(huì)產(chǎn)生折射現(xiàn)象, 我們?cè)诘谝粋�(gè)射入點(diǎn)做一條與標(biāo)準(zhǔn)面平行的虛線, 在待測(cè)面會(huì)有光a反射回去, 在標(biāo)準(zhǔn)面時(shí)也會(huì)有光b反射回去從圖可以看出光線a及b所通過的路徑是不同的，而當(dāng)光程差恰為波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí)，就可以看到相同間隔的干涉條紋 yhsbso,5 a
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2-2-2-1 干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例一 1nZ7xCDK98
干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例： 9Od|R"aS|
應(yīng)用一:表面平整性- By;{Y[@rS
如果我們想從干涉圖了解物體表面的平整性好不好, 可以在干涉圖上畫一個(gè)以中心為準(zhǔn)的十字線, 數(shù)數(shù)看從中心點(diǎn)起, 在X方向上的條紋數(shù)及Y方向上的條紋數(shù)量有幾個(gè), IxU#x*
這個(gè)量在光學(xué)工廠中是最常使用的, 當(dāng)我們要求師父磨一個(gè)鏡片時(shí), 就可以告知我們對(duì)表面平整性的需求, 在X方向與Y方向上的誤差范圍容忍度是多少. D,,$
從圖上來看, X方向上有1個(gè)條紋,Y方向上則有3個(gè)條紋,也就是說, 這個(gè)待測(cè)的組件, 在X方向與Y方向上的變化程度不一樣, 這個(gè)變化程度就定義為表面平整性Surface irregularity同時(shí)差異量最大的地方我們定義為:POWER, 也就是Y方向的3,而irregularity是看X方向與Y方向上的差異量, 也就是2,所以從上圖的干涉條紋我們可以知道待測(cè)物的Power為3、irregularity為2 那到底什么是POWER, 什么是irregularity? rvUJ K,oE
假設(shè)我們看的組件是眼鏡的鏡片, 從側(cè)面看, 當(dāng)有光打過來時(shí)鏡片會(huì)聚焦, 不同的彎曲量聚焦的程度就會(huì)不一樣, 我們稱為放大率, , 而面的彎曲程度就定義為POWER. 而在鏡片上的X方向與Y方向的彎曲程度會(huì)可能不同, 也就是說POWER不一樣, 我們就稱為Surface irregularity, CkeqK
現(xiàn)在我們已經(jīng)知道這個(gè)干涉圖條紋的表示為3/2, 那么這個(gè)數(shù)字是代表多少? 他的單位就是波長(zhǎng),一般的雷射為632.8( )波長(zhǎng), 3/2 的3是指3個(gè)波長(zhǎng), 2是指2個(gè)波長(zhǎng), 在光學(xué)組件的計(jì)算之中通常是以波長(zhǎng)來表示的. EmYu]"${1
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2-2-2-3 干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例一 ']^_ W0?=
接下來的例子, 我們要看的一樣是POWER和irregularity我們可以從圖A來判讀POWER和irregularity 是多少? 3d;w\#? L;
加上十字坐標(biāo)之后, X方向上有2.5個(gè)條紋, Y方向上則有1.5個(gè)條紋, 所以這個(gè)鏡片的最大彎曲量是2.5, X與Y的差距量是1, 但是這個(gè)干涉圖的結(jié)果卻不是 2.5/1 @|;XDO`k;
當(dāng)X方向與Y方向待測(cè)面的彎曲方向相同時(shí), irregularity為2者相減, 但X方向與Y方向待測(cè)面的彎曲方向不同時(shí), irregularity則為兩者相加. 8h{;*W r-
當(dāng)X方向與Y方向待測(cè)面的彎曲方向相同時(shí), POWER取最大值, 但X方向與Y方向待測(cè)面的彎曲方向不同時(shí),POWER相減. ;kLp}CqV
所以從這個(gè)圖來判讀的irregularity為1.5+2.5=4, X方向與Y方向可以視為同一個(gè)面, 所以POWER是2.5-1.5=1, 因此, 我們必須先知道所量測(cè)的是什么物體, 否則所求得的數(shù)據(jù)也有可能是錯(cuò)誤的. 8eDKN9kq
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第三章：干涉儀種類 # n\|Q\W
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第四章：實(shí)際檢測(cè)方法
