第一章：為何使用干涉儀做檢測 Y:[ u1~a
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第二章：干涉儀工作原理 W|mo5qrLS2
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2-2如何判斷干涉條紋 usF.bkTp
2-2-1干涉條紋種類 / U9"wvg
那么我們?nèi)绾闻袛喔缮鏃l紋? 因為我們不是隨時隨地都可以方便的使用干涉儀并藉由計算機來分析, 所以我們必須用肉眼來判斷, 這也是最快最方便的方式. f+!(k)GWd
干涉條紋的種類有2種:第一個是等厚度干涉條紋, 在等厚度干涉條紋中明暗的條紋會呈現(xiàn)等間隔的情形, 而且每個相鄰的條紋代表相同的厚度間隔. y<Ot)fa$
假設(shè)橫線為標準面, 斜線為一個斜率固定的待測面, 當光線打過來的時候會產(chǎn)生折射現(xiàn)象, 我們在第一個射入點做一條與標準面平行的虛線, 在待測面會有光a反射回去, 在標準面時也會有光b反射回去從圖可以看出光線a及b所通過的路徑是不同的，而當光程差恰為波長的整數(shù)倍時，就可以看到相同間隔的干涉條紋 %h!B^{0
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2-2-2-1 干涉條紋判斷應(yīng)用實例一 X \/#@T
干涉條紋判斷應(yīng)用實例：
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應(yīng)用一:表面平整性- ~9@UjQ^)F
如果我們想從干涉圖了解物體表面的平整性好不好, 可以在干涉圖上畫一個以中心為準的十字線, 數(shù)數(shù)看從中心點起, 在X方向上的條紋數(shù)及Y方向上的條紋數(shù)量有幾個, ?e 4/p
這個量在光學(xué)工廠中是最常使用的, 當我們要求師父磨一個鏡片時, 就可以告知我們對表面平整性的需求, 在X方向與Y方向上的誤差范圍容忍度是多少. t{{QE:/
從圖上來看, X方向上有1個條紋,Y方向上則有3個條紋,也就是說, 這個待測的組件, 在X方向與Y方向上的變化程度不一樣, 這個變化程度就定義為表面平整性Surface irregularity同時差異量最大的地方我們定義為:POWER, 也就是Y方向的3,而irregularity是看X方向與Y方向上的差異量, 也就是2,所以從上圖的干涉條紋我們可以知道待測物的Power為3、irregularity為2 那到底什么是POWER, 什么是irregularity? R\[e!g*I
假設(shè)我們看的組件是眼鏡的鏡片, 從側(cè)面看, 當有光打過來時鏡片會聚焦, 不同的彎曲量聚焦的程度就會不一樣, 我們稱為放大率, , 而面的彎曲程度就定義為POWER. 而在鏡片上的X方向與Y方向的彎曲程度會可能不同, 也就是說POWER不一樣, 我們就稱為Surface irregularity, G"t5nHY\.
現(xiàn)在我們已經(jīng)知道這個干涉圖條紋的表示為3/2, 那么這個數(shù)字是代表多少? 他的單位就是波長,一般的雷射為632.8( )波長, 3/2 的3是指3個波長, 2是指2個波長, 在光學(xué)組件的計算之中通常是以波長來表示的. j\M?~=*w
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2-2-2-3 干涉條紋判斷應(yīng)用實例一 _t^&Ah*
接下來的例子, 我們要看的一樣是POWER和irregularity我們可以從圖A來判讀POWER和irregularity 是多少? <LiP Eo.R
加上十字坐標之后, X方向上有2.5個條紋, Y方向上則有1.5個條紋, 所以這個鏡片的最大彎曲量是2.5, X與Y的差距量是1, 但是這個干涉圖的結(jié)果卻不是 2.5/1 RA
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當X方向與Y方向待測面的彎曲方向相同時, irregularity為2者相減, 但X方向與Y方向待測面的彎曲方向不同時, irregularity則為兩者相加. dy[X3jQB
當X方向與Y方向待測面的彎曲方向相同時, POWER取最大值, 但X方向與Y方向待測面的彎曲方向不同時,POWER相減.
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所以從這個圖來判讀的irregularity為1.5+2.5=4, X方向與Y方向可以視為同一個面, 所以POWER是2.5-1.5=1, 因此, 我們必須先知道所量測的是什么物體, 否則所求得的數(shù)據(jù)也有可能是錯誤的. wi bNQ`4k
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第三章：干涉儀種類 0g8NHkM:2a
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第四章：實際檢測方法
