[求助]初學(xué)膜系設(shè)計，求推薦相關(guān)書籍。 [復(fù)制鏈接]

求推薦一本比較好的膜系設(shè)計的書，本人主攻深紫外光刻物鏡中的膜系設(shè)計。

1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過第2版原版的pdf.    第1版的，有中文版，周九林、尹樹百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇啤㈩櫟� <薄膜光學(xué)與技術(shù)>，顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可稱經(jīng)典。 OYszW]UMg  
這幾年有新作出來，沒有細讀。 O8K@&V
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注意： 浙大出版社   劉旭、王、易， 翻譯<光學(xué)干涉薄膜>不是系統(tǒng)介紹光學(xué)薄膜原理的，而是文集。 H4PbO/{xO  
因光學(xué)薄膜的基本理論已完善，所以設(shè)計方面的書經(jīng)典就夠用了。 =_$XP   
2. 光學(xué)薄膜的設(shè)計軟件也已經(jīng)有很多，網(wǎng)上能找到 一些。 tr6jh=  

morningtech:1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過第2版原版的pdf.    第1版的，有中文版，周九林、尹樹百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇�、顧的 <薄膜光學(xué)與技術(shù)>，顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可 .. (2014-06-27 08:54)  /nc~T3j  

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xiexie

光學(xué)薄膜技術(shù)

教材都大同小異，就浙大的唐晉發(fā)編的《光學(xué)薄膜技術(shù)》就可以了

誰能給我一份啊

正在看macleod

最關(guān)鍵的是算準膜材的折射率，這樣設(shè)計起來就事半功倍了

雨雪霏霏:xiexie (2014-06-28 17:15)  <\@1Zz@ms