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    [求助]初學(xué)膜系設(shè)計(jì),求推薦相關(guān)書(shū)籍。 [復(fù)制鏈接]

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    離線(xiàn)雨雪霏霏
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2014-06-26
    求推薦一本比較好的膜系設(shè)計(jì)的書(shū),本人主攻深紫外光刻物鏡中的膜系設(shè)計(jì)。
     
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    離線(xiàn)morningtech
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2014-06-27
    1. 可以看看macleod的,<Thin-Film Optical Filters>,網(wǎng)上曾有過(guò)第2版原版的pdf.    第1版的,有中文版,周九林、尹樹(shù)百譯,網(wǎng)上有 pdf 的;蚩煽纯凑愦筇、顧的 <薄膜光學(xué)與技術(shù)>,顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可稱(chēng)經(jīng)典。 _x\m|SF_g  
    這幾年有新作出來(lái),沒(méi)有細(xì)讀。 H`|0-`q  
    注意: 浙大出版社   劉旭、王、易, 翻譯<光學(xué)干涉薄膜>不是系統(tǒng)介紹光學(xué)薄膜原理的,而是文集。 /Dd\PjIH{  
    因光學(xué)薄膜的基本理論已完善,所以設(shè)計(jì)方面的書(shū)經(jīng)典就夠用了。 I)[B9rbe  
    2. 光學(xué)薄膜的設(shè)計(jì)軟件也已經(jīng)有很多,網(wǎng)上能找到 一些。 m#