[求助]初學(xué)膜系設(shè)計，求推薦相關(guān)書籍。 [復(fù)制鏈接]

求推薦一本比較好的膜系設(shè)計的書，本人主攻深紫外光刻物鏡中的膜系設(shè)計。

1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過第2版原版的pdf.    第1版的，有中文版，周九林、尹樹百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇啤㈩櫟� <薄膜光學(xué)與技術(shù)>，顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可稱經(jīng)典。 -K3d u&j  
這幾年有新作出來，沒有細讀。 U$Z<lx2P  
注意： 浙大出版社   劉旭、王、易， 翻譯<光學(xué)干涉薄膜>不是系統(tǒng)介紹光學(xué)薄膜原理的，而是文集。 OTl9MwW  
因光學(xué)薄膜的基本理論已完善，所以設(shè)計方面的書經(jīng)典就夠用了。 Wf^sl  
2. 光學(xué)薄膜的設(shè)計軟件也已經(jīng)有很多，網(wǎng)上能找到 一些。 @T:J<,  

morningtech:1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過第2版原版的pdf.    第1版的，有中文版，周九林、尹樹百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇啤㈩櫟� <薄膜光學(xué)與技術(shù)>，顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可 .. (2014-06-27 08:54)  3>^]r jFw  

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