象Tfc,macleod等軟件都可以模擬,但前提是這些材料的光學(xué)參數(shù)的數(shù)據(jù)要有,Tfc更直接,把膜層的顏色直接可以顯示出來。用軟件設(shè)計的時候,就要看顏色光學(xué)學(xué)的怎么樣了,紅色有很多種,對應(yīng)不同的波長。你要什么顏色,設(shè)計的時候就讓其對應(yīng)波長的反射率相對高點就可以了。 g~|x^d^;|
你要控制5nm的金屬膜層,個人認(rèn)為只有用晶體控制,如XTC,IC5等?梢藻兂鰜恚唧w能達到什么樣的精度,就看具體的工藝做的怎么樣了。