[求助]在PMMA基底上冷鍍膜出現(xiàn)裂膜，膜層不牢固 [復(fù)制鏈接]

在PMMA基底上鍍AR膜系，905nm增透。 ~o # NOfYi  
基片經(jīng)超聲波中性洗劑清洗后，放在恒溫箱中75℃，退火2h；在光馳機(jī)器中不加熱，開(kāi)離子源，真空抽至2E-3開(kāi)始鍍（Ta2O5/石英環(huán)）。 HYg_{  
出鍋后，基片上的膜層就出現(xiàn)明顯裂痕。 ^E:;8h4$9  
基片翻面放進(jìn)機(jī)器，降低鍍石英環(huán)的離子轟擊能量，并在出鍋后，直接放入恒溫箱中75℃退火2h。結(jié)果是基片沒(méi)有裂痕，但膜層一擦就掉。 LoCxoAg  
請(qǐng)教下各位，應(yīng)該怎樣有效的降低PMMA的內(nèi)應(yīng)力，工藝上有哪些不當(dāng)?shù)牡胤较Ｍ�可以不吝言辭予以指正，謝謝！

供參考：覺(jué)得基底要加熱，~50C.

這個(gè)沒(méi)什么復(fù)雜的 m76]INq  

做個(gè)記號(hào)~

學(xué)習(xí)一下

coa520:這個(gè)沒(méi)什么復(fù)雜的 /z5lxS@#  
 (2015-04-28 11:34)  ni> ;8O]=  

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求指教

我最近也在做這個(gè)，求大神指教

求教，學(xué)習(xí)

樓主，最終是什么問(wèn)題，解決了嗎？

目前還沒(méi)解決  求大神指點(diǎn) &6=ZT:.6Te  
謝謝！ b^DV9mO4J