前邊已經(jīng)介紹過(guò)一些diffuser，splitter和shaper的設(shè)計(jì)方法，在元件設(shè)計(jì)好并加工的時(shí)候會(huì)出現(xiàn)加工公差，因此如何模擬實(shí)際的二元光學(xué)元件（DOE），在本例中給出了模擬方法。 'II
vub#q
VirtualLab中有一種界面叫做組合界面（combined interface），可以將兩種（或多種）界面的輪廓數(shù)值疊加，即平面上每個(gè)坐標(biāo)（x,y）對(duì)應(yīng)的高度值H1(x,y)描述面1，H2(x,y)描述面2，則H1(x,y)+H2(x,y)即為新組合界面的輪廓H(x,y)。 ^S:cNRSW"
)OS>9
kFH
因此H1(x,y)作為初始界面（如本例中的設(shè)計(jì)好的非球面），H2(x,y)作為加工公差。其中加工公差的數(shù)據(jù)導(dǎo)入需要注意導(dǎo)入過(guò)程中的采樣間距及單位（在導(dǎo)入界面中需選擇length）。 FK?m S>G6
通過(guò)衍射評(píng)價(jià)函數(shù)這個(gè)探測(cè)器可以探測(cè)導(dǎo)入公差前后的一致性誤差，信噪比，窗口效率及轉(zhuǎn)換效率，加工公差導(dǎo)入之后，后兩個(gè)參數(shù)變化不大，但是一致性誤差變化非常大，信噪比也幾乎減小一倍。 re2Fv:4{
