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PMMA基板上鍍膜,出現(xiàn)膜裂和脫膜,求大神指點(diǎn)!
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現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜,使用Leybold真空
鍍膜
機(jī),
電子
槍蒸發(fā)方式,選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜
材料
;會(huì)出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象,使用3M膠帶拉,膜層幾乎全部脫落;鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理,在真空室中加熱到50℃,然后停止加熱,開始鍍膜,鍍膜整個(gè)過程中溫度未超過50℃。
!*5_pGe
求大神指點(diǎn),如何改善
工藝
才能解決膜裂和脫膜的問題,非常感謝!
^glX1 )
L,WkJe3
描述:膜裂+脫膜
圖片:膜裂.jpg
>T`zh^+5W
Q7L)f71i
描述:脫膜
圖片:脫膜.jpg
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