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    [求助]PMMA基板上鍍膜,出現(xiàn)膜裂和脫膜,求大神指點(diǎn)! [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2015-08-01
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    現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜,使用Leybold真空鍍膜機(jī),電子槍蒸發(fā)方式,選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜材料;會(huì)出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象,使用3M膠帶拉,膜層幾乎全部脫落;鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理,在真空室中加熱到50℃,然后停止加熱,開始鍍膜,鍍膜整個(gè)過程中溫度未超過50℃。 |iGfX,C|  
    求大神指點(diǎn),如何改善工藝才能解決膜裂和脫膜的問題,非常感謝! Gky e  
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