現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜,使用Leybold真空
鍍膜機(jī),
電子槍蒸發(fā)方式,選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜
材料;會(huì)出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象,使用3M膠帶拉,膜層幾乎全部脫落;鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理,在真空室中加熱到50℃,然后停止加熱,開(kāi)始鍍膜,鍍膜整個(gè)過(guò)程中溫度未超過(guò)50℃。
,u$$w 求大神指點(diǎn),如何改善
工藝才能解決膜裂和脫膜的問(wèn)題,非常感謝!
DK:d'zb A+?n=IHh IUzRE?Kzf Y~Zg^x2 bMgp