[求助]PMMA基板上鍍膜，出現(xiàn)膜裂和脫膜，求大神指點！ [復(fù)制鏈接]

現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜，使用Leybold真空鍍膜機，電子槍蒸發(fā)方式，選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜材料；會出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象，使用3M膠帶拉，膜層幾乎全部脫落；鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理，在真空室中加熱到50℃，然后停止加熱，開始鍍膜，鍍膜整個過程中溫度未超過50℃。 ]ny(l#Hu:  
求大神指點，如何改善工藝才能解決膜裂和脫膜的問題，非常感謝！ u_[Zu8  
!BY=HFT  

描述:膜裂+脫膜

圖片:膜裂.jpg

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描述:脫膜

圖片:脫膜.jpg

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不用離子源嗎？用了離子源后50度咋可能控制在50度？除非設(shè)置離子源的功率特小，要不離子源的溫升效果也很明顯呀

離子源的功率較低，所以整個鍍膜過程中溫升不明顯。

鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。

膜層與基底結(jié)合力不夠

dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  bb<Vh2b>R  

5<S1,u5  
請問鍍膜前怎么清洗，嘗試過用酒精，不行！ \k* ]w_m-  
謝謝！

woshiyiyun:膜層與基底結(jié)合力不夠 (2015-08-30 17:46)  (2{1m#o  

$L&*0$[]Q  
是的，附著力不行�，F(xiàn)在的問題就是如何提高結(jié)合力，不知您有沒有好的建議？ ,5/gNg  
謝謝！

dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  ruA!+@or  

>Rr]e`3wG  
退火處理？因為PMMA基板不耐高溫，退貨處理意義不大吧？ a~{mRh  
有點兒不太明白，能否詳細說一下？ uh GL1{  
謝謝！

應(yīng)該不可以用酒精擦吧？ {>syZZ,h  
超聲波清洗，走中性或堿性洗劑。 $cYh X^YG.  
用60-70度恒溫箱退火，去硬力很必要的步驟。

現(xiàn)在解決了嗎？如果沒有可聯(lián)系我 QQ2860598589