[求助]PMMA基板上鍍膜，出現(xiàn)膜裂和脫膜，求大神指點！ [復制鏈接]

現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜，使用Leybold真空鍍膜機，電子槍蒸發(fā)方式，選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜材料；會出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象，使用3M膠帶拉，膜層幾乎全部脫落；鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理，在真空室中加熱到50℃，然后停止加熱，開始鍍膜，鍍膜整個過程中溫度未超過50℃。 U@T"teGBA  
求大神指點，如何改善工藝才能解決膜裂和脫膜的問題，非常感謝！ @8{-B;  
-fKo~\Pr  

描述:膜裂+脫膜

圖片:膜裂.jpg

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描述:脫膜

圖片:脫膜.jpg

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不用離子源嗎？用了離子源后50度咋可能控制在50度？除非設置離子源的功率特小，要不離子源的溫升效果也很明顯呀

離子源的功率較低，所以整個鍍膜過程中溫升不明顯。

鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。

膜層與基底結(jié)合力不夠

dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  CzDV^Iv;Q{  

b+`qGJrej  
請問鍍膜前怎么清洗，嘗試過用酒精，不行！ 8'PK}heBU  
謝謝！

woshiyiyun:膜層與基底結(jié)合力不夠 (2015-08-30 17:46)   `-JVz{z  

 =W&m{F96  
是的，附著力不行�，F(xiàn)在的問題就是如何提高結(jié)合力，不知您有沒有好的建議？ S['cX ~  
謝謝！

dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  g$jT