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    [推薦]VirtualLab實(shí)例_紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-06-01
    oe*CZ  
    案例315（3.1） ^N&@7s  
    =mYwO=:D  
    該應(yīng)用案例說(shuō)明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長(zhǎng)線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長(zhǎng)和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 dvu8V_U  
    f;=<$Y>i  
    1. 線柵偏振片的原理 Ih<.2  
    帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 yi;pn Z  
    s3[\&zt  
    2. 建模任務(wù) ez14f$cJ+  
    )?;+<,  
    'Bwv-J  
     全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 e0ULr!p  
     偏振元件的重要特性： ~0Z.,p_  
     偏振對(duì)比度 ugzrG0=lx  
     透射率 hjq@ .5  
     效率一致性 lSG]{  
     線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) %+iAL<S  
    2&zklXuo:  
    3. 建模任務(wù)：
          x-z方向(截面)            x-y方向(俯視圖)
    )l H`a  
    Vr:`?V9Q2(  
    4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) b ;>?m  
    oc"7|YG  
    偏振片#1: 97