VirtualLab Fusion
軟件可以對(duì)
光學(xué)測(cè)量
系統(tǒng)進(jìn)行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測(cè)量器件。
5} <OB-9 很多光學(xué)測(cè)量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有:
?(Tin80=r )F\kGe 干涉儀
u|.|dv'mbp 光譜儀&單色儀
@$L| 表面計(jì)量系統(tǒng)
r#_0_I1[ lj8ficANo VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)這些測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場(chǎng)追跡引擎進(jìn)行快速精確的測(cè)量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。
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