摘要：為滿足基于機(jī)器視覺的工業(yè)檢測系統(tǒng)中對自動對焦快速性的要求，提出了一種基于激光技術(shù)的新型嵌入式高速對焦系統(tǒng)。該方法利用在同一光路中激光與可見光互不影響的特性和DSP高速圖像處理的能力，通過檢測特殊設(shè)計光學(xué)回路反射回來的激光光斑信息，主動控制運(yùn)動執(zhí)行機(jī)構(gòu)實現(xiàn)工業(yè)檢測系統(tǒng)顯微鏡的快速和穩(wěn)定對焦。該對焦方法改善了TFT-LCD光學(xué)檢測系統(tǒng)中基于被動的圖像處理和基于主動測距等傳統(tǒng)對焦方式精度低和速度慢等缺陷。測試結(jié)果表明，該新型對焦系統(tǒng)極大的縮短了對焦的時間，并且提高了對焦系統(tǒng)的控制精度，滿足了工業(yè)光學(xué)檢測系統(tǒng)中實際應(yīng)用的要求。 [fZhfZ)<
