摘要：我們使用近似的
物理光學(xué)模
模擬了半徑的測量。使用簡單的幾何
光線模型替換復(fù)雜的物理光學(xué)模型，可以確定在測量中的偏差。
x$:P; # Un~8N 1. 簡介 c)b/" 7xhBdi[ dQ 半徑干涉測量通常通過簡單的幾何模型來模擬，即，來自物鏡（或標(biāo)準(zhǔn)
透鏡）的光線形成錐形并且聚焦到一點[1]。當(dāng)測試光學(xué)器件變小和/或需要更高的精度時，這個簡單的幾何模型就會產(chǎn)生問題并得到錯誤的半徑測量值。需要完整的物理光學(xué)模型來捕獲
系統(tǒng)的衍射效應(yīng)和像差。
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: a*;F 半徑干涉測量的原理圖如圖1所示。菲索或泰曼格林干涉儀都可用于半徑測量。在菲索干涉儀中，標(biāo)準(zhǔn)透鏡用作聚焦元件、分束和參考表面。在泰曼格林干涉儀中，使用分束器將光分成參考反射鏡和物鏡，它可以將光束聚焦到測試部件。
^%qe&P e2 |#Gug( ' 通過首先將部件放置在共焦位置，然后將部件移動到貓眼位置，并測量部件移動的距離，來測量測試部件的半徑，該距離就是測試部件的半徑。當(dāng)澤尼克多項式[1]的離焦項為零時，共焦和貓眼位置重合。在視覺上，靶心環(huán)是空的。因為操作者不能將部件準(zhǔn)確地放置在所需的位置，所以用于確定共焦和貓眼位置的最準(zhǔn)確的方法是逐步通過這兩個位置。當(dāng)操作者以小步幅移動部件通過共焦和貓眼時，我們記錄離焦和Z位置。然后，我們用一條線擬合離焦VS.Z位置。共焦和貓眼位置是Z位置軸上的截距。這種通過共焦和貓眼步進(jìn)的方法可用于精確半徑測量[2]，我們在這里用于半徑測量的模擬。
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